莱斯大学的科研团队在金刚石散热技术领域取得重要进展,开发出一种可规模化制造的金刚石散热层技术。该技术能将电子器件的工作温度显著降低,为高功率芯片的散热问题提供了新的工程解决方案。
金刚石因其极高的热导率被视为理想的散热材料,但其极高的硬度和加工难度长期限制了实际应用。研究团队创新性地提出了一种“自下而上”的金刚石生长方法,通过在芯片表面直接构建图案化的金刚石层,实现热量的精准导出。这种方法避免了传统“自上而下”加工方式带来的材料损伤和高成本问题。
该技术的核心工艺是微波等离子体化学气相沉积。研究人员首先在芯片表面制作模板并铺设纳米金刚石晶核,随后在高能反应器中,含碳气体在微波作用下转化为等离子体,碳原子沉积并附着在晶核上,逐层生长为高导热金刚石层。研究指出,成核步骤是金刚石生长的关键,为晶体结构的形成奠定了基础。
这项技术展现出良好的工艺适配性和材料兼容性。在高分辨率复杂图案应用中采用光刻制种技术,在大面积应用场景中则使用激光切割薄膜方式。同时,该工艺可兼容硅和氮化镓等多种半导体基底材料,为不同技术路线集成高性能金刚石散热层提供了可能。
研究团队表示,新方法已成功扩展至晶圆制造规模,有望应用于AI芯片、5G硬件等高功率半导体器件。温度的显著降低不仅有助于延长器件寿命,还可在避免过热的情况下提升运行速度。团队下一阶段的目标是优化金刚石层与底层电子器件之间的界面结合,以实现更紧密的结构整合,为构建更高性能的下一代晶体管器件奠定基础。


